Hovedkomponentene i PVD -beleggsmaskin inkluderer følgende deler:
Vakuumkammer: Beleggingsprosessen må utføres under høye vakuumforhold. Vakuumkammeret er den viktigste delen for å opprettholde den høye vakuumtilstanden i kammeret. Det er vanligvis laget av rustfritt stål eller andre korrosjonsbestandige materialer, og interiøret er spesielt behandlet for å unngå gasslekkasje.
Målforsyningssystem: Målet brukes til å generere fordampningskilden eller ionestrålen. Målforsyningssystemet består vanligvis av en varmeovn, en målholder og en sensor for å kontrollere måltemperaturen og fordampningshastigheten til måloverflaten.
Hjelpevarmesystem: I noen spesielle tilfeller er det nødvendig med ytterligere oppvarming for å forbedre beleggseffekten. Hjelpemeldingssystemet er vanligvis sammensatt av en varmeovn og en oppvarmingskontrollenhet, som kan gi ekstra oppvarmingsenergi.
Substratarmatur: Det brukes til å fikse underlaget som skal belegges, vanligvis bestående av en inventarramme og en inventar. Armaturen skal ha god varmeledningsevne slik at oppvarmingsenergien kan overføres jevnt til underlaget.
Eksosanlegg: Det brukes til å fjerne gassen i vakuumkammeret for å opprettholde en høy vakuumgrad. Generelt inkluderer det en kombinasjon av flere pumper som mekaniske pumper, molekylære pumper og diffusjonspumper.
Kontrollsystem: Brukes til å overvåke og kontrollere hele beleggprosessen. Inkludert temperaturkontroll, vakuumovervåking, målfordampningshastighetskontroll, etc. Noen avanserte PVD -beleggsmaskiner er også utstyrt med automatiske kontrollsystemer for å oppnå automatisert produksjon.
