China Arc Evaporation Thin Film Equipment Manufacturers Suppliers Factory

Produktoversikt

Industrial Cathodic Arc Evaporation System er en produksjons-fysisk dampavsetning (PVD)-plattform konstruert for å avsette slitasjebestandige,-korrosjonsbestandige og harde belegg med lav-friksjon. Ved å bruke elektriske lysbuer med lav-, høy-strøm, fordampes og ioniseres solide katodemål umiddelbart ved katodepunktet, og genererer høyt ionisert metallplasma.

Dette systemet er designet og produsert i henhold til ISO 9001 kvalitetsstyringsstandarder og CE-samsvarsdirektiver, og er konfigurert for belegningsoperasjoner med høy-gjennomstrømning innen verktøyproduksjon, bilkomponenter og industriell maskinvare. Standardkonfigurasjoner integrerer multi-katodeoppsett med uavhengig magnetisk-feltstyring, programmerbare DC/pulsed bias-strømforsyninger og automatisert vakuumkontroll for å opprettholde konsistent filmstøkiometri og tette mikrostrukturer.

Arc Evaporation Thin Film System
Industrial Cathodic Arc Evaporation Thin Film System er konstruert for høy-avsetning av tette, sterkt vedheftende metalliske, legerings- og keramiske belegg. Systemet opererer via en lav-spenning,...
Vis flere
Arc Evaporation PVD-utstyr
Det industrielle PVD-systemet for katodisk lysbuefordampning bruker elektriske lysbuer med lav-spenning og høy-strøm for å fordampe faste katodemål i et vakuummiljø. Denne mekanismen oppnår en...
Vis flere
Vacuum Arc Thin Film System
Industrial Vacuum Arc Thin Film System bruker katodisk lysbuefordampning for å avsette tette, svært vedheftende metalliske, legerings- og keramiske tynne filmer. En lysbue med høy-strøm og...
Vis flere
Katodisk lysbue tynnfilmutstyr
System for fysisk dampavsetning (PVD) som bruker lokaliserte elektriske lysbuer med lav-spenning og høy-strøm for å fordampe faste katodemål til fullstendig ionisert plasma. Den høye...
Vis flere
Buefordampningsutstyr
Industriell fysisk dampavsetning (PVD)-plattform konstruert for høy-syntese av tette, slitasjebestandige- og funksjonelle harde belegg. Ved å opprettholde en høy-strøm, lav-katodisk...
Vis flere
Arc Evaporation tynnfilmutstyr
Dette katodiske lysbuefordampningssystemet fordamper faste katodemål via en elektrisk lysbue med lav-spenning og høy-strøm for å generere fullstendig ionisert metallplasma. Sammenlignet med...
Vis flere

Tekniske spesifikasjoner

Parameter	Spesifikasjonsområde / standard konfigurasjon
Kammerdimensjoner	Diameter: 800 mm - 1800 mm (tilpassbare vertikale/horisontale layouter)
Kammermateriale	Dobbel-vegget SUS304 rustfritt stål med innvendige vann-kjølekanaler
Ultimativt vakuumtrykk	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Katodekonfigurasjon	4 til 12 rektangulære/sirkulære buekilder med elektromagnetisk styring
Bue strømforsyning	300A - 500En justerbar konstant strøm, krusning<= 2%
Substrat Bias Power	0 til -1000V justerbar, pulsert forspenningsfrekvens 10 kHz - 100 kHz
Varmesystem	Radiant heater array, maks temperatur 600 grader +/- 5 grader jevnhet
Arbeidsstykkerotasjon	Planetarisk eller dobbel-akse rotasjon drevet av magnetisk væskegjennomføring
Kontrollsystem	PLS + industriell PC, oppskrift-drevet automatisert sekvenskontroll
Krav til verktøy	Kjølevann: 0,25-0,35 MPa, 20-25 grader ; Strøm: 380V/480V, 3-fase, 50/60 Hz

Buefordampningsprosess

Avsetningssyklusen opererer under streng prosedyrekontroll for å garantere filmintegritet og grensesnittadhesjon:

Evakuering og utgassing:

Vakuumkammeret pumpes ned til basistrykket. Substrater varmes opp under vakuum for å eliminere flyktige overflater og gjenværende fuktighet.

Plasma-etsing (rengjøring):

Metallionbombardement (ved bruk av titan- eller krommålkilder) renser substratoverflaten på atomnivå, fjerner native oksider og aktiverer grensesnittet.

Reaktiv avsetning:

Reaktive gasser (N2, CH4, O2) injiseres i kammeret gjennom massestrømskontrollere (MFC) for å reagere med metallplasmafluksen (f.eks. Ti, Cr, AlTi), og danner sammensatte filmer som TiN, TiAlN eller CrN.

Kjøling og lufting:

Etter-avsetningsavkjøling skjer under beskyttende inertgassatmosfære før kammerventilasjon og uthenting av deler.

Filmmaterialer og underlag

Støttede katodemål
Titan (Ti) og Titanium Aluminium (TiAl):Basismaterialer for standard TiN og TiAlN-belegg med høy-oksidasjons-motstand (tåler oksidasjon opp til 900 grader).

Krom (Cr):Brukes til dekorative overflater og korrosjonsbestandige-CrN/CrC-lag.

Zirkonium (Zr) og titansilisium (TiSi):Brukt for spesialiserte dekorative og ekstreme slitasjebestandige-nanokomposittfilmer.

Kompatible underlagsmaterialer
Høyhastighets-stål (HSS):Spiralbor, endefreser, kokeplater og brosjer.

Sementerte karbider (WC-Co):Indekserbare innsatser, rømmer og formingsformer.

Tekniske stål og legeringer:Bilventilkomponenter, gir, sanitærutstyr i rustfritt stål og medisinske titanimplantater.

Applikasjoner og ytelsespåvirkning

Metallkutteverktøy:

Avsetning av TiAlN- og AlCrN-belegg på hardmetallskjær og endefreser, forlenger verktøyets levetid med 200 % til 300 % og muliggjør tørrbearbeiding med høy-hastighet.

Formings- og stemplingsstanser:

Påføring av tette,-lavfriksjonsbelegg for å redusere limslitasje, gnaging og fastklebing av arbeidsstykket under dyptrekking, noe som reduserer nedetiden med opptil 40 %.

Drivlinje for bil:

Behandling av stempelringer, drivstoffinjeksjonsstifter og ventiler for å minimere grensefriksjonskoeffisienten ned til < 0,15 og forhindre slitasje.

Industriell maskinvare og sanitærkran:

Harde dekorative PVD-lag (TiN-gull, rosagull, svart zirkonium) som består en minimum 500-timers nøytral saltspraytest (ASTM B117).

Tilpasning og prosesskonfigurasjon

Utstyrsoppsett skaleres i henhold til produksjonsvolum, delgeometri og fabrikkfotavtrykk:

Kammergeometri:

Vertikale lastestrukturer for tungt verktøy; horisontale batch-konfigurasjoner for lasting av-armatur med høy kapasitet.

Kildeintegrasjon:

Hybridkonfigurasjoner som kombinerer katodiske lysbuekilder med ubalanserte magnetronforstøvningskatoder (RMS) for å avsette glatte, dråpefrie flerlagsarkitekturer.

Filtreringssystemer:

Valgfrie magnetiske makropartikkelfiltre (styrte lysbuefiltre) installert på katodekanaler for å eliminere makro-dråper for optiske eller ultra-myke presisjonsbelegg.

Automatiseringsgrensesnitt:

Integrasjon-klar for robotlastearmer og automatiserte veiledede kjøretøy (AGV) batch-innstilling.

Produksjon og kvalitetskontroll

Strukturell integritet:Kammerlegemer gjennomgår Helium massespektrometer lekkasjetesting ved en sensitivitetsterskel på<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Elektrisk sikkerhet og samsvar:Bygget strengt etter CE- og IEC-retningslinjer for elektrisk sikkerhet, med full isolasjonstesting og nødsikkerhetssperrer.

Funksjonell avløp-(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell-innrykk HF1-HF2) bekreftes på standard testkuponger før forsendelse.

Installasjon og teknisk støtte

Nettstedsforberedelsespakke:

Omfattende utformingstegninger for verktøy som viser strømningshastigheter for kjølevann, avtrekksventilasjon, gulvlastkapasitet og elektriske fallspesifikasjoner leveres 4 uker etter-kontrakt.

På{0}}Idriftsettelse på stedet:

Fabrikksertifiserte-prosessingeniører håndterer mekanisk justering, vakuumlekkasjedeteksjon, elektrisk integrasjon og innledende oppsett av oppskrift på klientanlegget.

Behandle oppskriftsoverføring:

Leveransen inkluderer standard grunnlinjeoppskrifter (TiN, TiAlN, CrN) og operasjonell opplæring for interne vedlikeholds- og ingeniørteam.

Fjerndiagnosestøtte:

Systemer utstyrt med sikre industrielle rutergatewayer for ekstern parameterfeilsøking og PLS-logikkdiagnostikk.

FAQ

Spørsmål: Hvordan kontrollerer systemet generering av makropartikler (dråper) som er iboende for lysbuefordampning?

A: Utstyret bruker justerbare magnetfeltstyrespoler for å flytte katodebuepunktet raskt over måloverflaten, og reduserer oppholdstid og dråpeutkast. For applikasjoner som krever ultra-jevn finish, avleder valgfrie filtrerte buemoduler metallplasmaet magnetisk bort fra makropartikler før de når substratet.

Spørsmål: Hva er den typiske målutnyttelsesgraden for standard katodekonfigurasjon?

A: Standard sirkulære og rektangulære katoder oppnår en målmaterialutnyttelsesgrad på 40 % til 55 %, avhengig av magnetfeltprofilen og måltykkelsen. Utskifting av mål er mekanisk sikret med hurtig-klemmemekanismer for å minimere nedetid for vedlikehold.

Spørsmål: Kan dette utstyret integreres i en eksisterende automatisert produksjonslinje?

A: Ja. PLS-kontrollarkitekturen støtter SECS/GEM-kommunikasjonsprotokoller og standard digital I/O-handshaking for integrasjon med automatiserte forhåndsrengjøringslinjer og robotladeceller.

Spørsmål: Hva er standard ledetid for en tilpasset kammerkonfigurasjon?

A: Standard vertikale batchsystemer krever 16 til 22 uker fra godkjenning til fabrikkgodkjenningstesting (FAT), avhengig av tilpassede pumpegruppespesifikasjoner og strømforsyningsarrangement.

Vi er godt-kjent som en av de ledende produsentene og leverandørene av utstyr til lysbuefordampning i Kina. Hvis du skal kjøpe tilpasset lysbuefordampningsutstyr laget i Kina, velkommen til å få prisliste fra fabrikken vår. For priskonsultasjon, kontakt oss.