Produktoversikt
PVD Composite Thin Film Equipment er en industriell vakuumavsetningsplattform konstruert for å deponere tynne filmer av flere-lag, legeringer og nanokompositt. Ved å integrere magnetronforstøvning og katodiske lysbuekilder i et enkelt vakuumkammer, muliggjør systemet presis kontroll over filmmikrostruktur, gjenværende spenning og grenseflateadhesjon. Plattformen er bygget for kontinuerlig produksjon og avansert FoU, og rommer metalliske, keramiske og polymersubstrater med skalerbare kammergeometrier.
-
![PVD-komposittvakuumavsetningsutstyr]()
PVD-komposittvakuumavsetningsutstyrDenne industrielle PVD-kompositt-vakuumavsetningsplattformen integrerer flere avsetningsteknikker i et enkeltkammermiljø for å avsette ensartede,-flerlags metalliske, legerings- eller dielektriske...Vis flere -
![PVD Hybrid tynnfilmavsetningssystem]()
PVD Hybrid tynnfilmavsetningssystemPVD Hybrid Thin Film Deposition System integrerer termisk fordampning, elektronstrålefordampning (e-) og RF/DC magnetronforstøvning i en enkelt vakuumarkitektur. Denne plattformen muliggjør...Vis flere -
![PVD Multi-Process Thin Film Equipment]()
PVD Multi-Process Thin Film EquipmentPVD Multi-Process Thin Film Equipment er en integrert vakuumavsetningsplattform konstruert for å kombinere flere tynne-filmfremstillingsteknikker – inkludert RF/DC Magnetron Sputtering, Thermal...Vis flere -
![PVD-komposittavsetningsutstyr]()
PVD-komposittavsetningsutstyrIndustrielt PVD-komposittavsetningsutstyr er konstruert for multi-komponent-, fler-- og nano-kompositt tynn-filmproduksjon. Systemet integrerer termisk fordampning, e-strålefordampning og...Vis flere -
![PVD kompositt tynnfilmsystem]()
PVD kompositt tynnfilmsystemIndustrielt -vakuumbeleggsystem som integrerer magnetronsputtering (RF/DC/HiPIMS) og katodisk lysbuefordampning. Designet for kontinuerlig, fler-lags-, legerings- og nano-kompositt...Vis flere -
![PVD-kompositt tynnfilmutstyr]()
PVD-kompositt tynnfilmutstyrPVD Composite Thin Film Equipment er en industriell vakuumplattform designet for å syntetisere flerlags-, legerings- og graderte tynnfilmer. Bygget på en modulær 304L/316L rustfritt...Vis flere
Tekniske spesifikasjoner
|
Parameter |
Spesifikasjonsområde |
|
Ultimativt vakuumtrykk |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Arbeidstrykk |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Underlagstemperatur |
Omgivelsestemperatur til 800 grader (PID-kontrollert-lukket sløyfe) |
|
Deponeringskilder |
Konfigurerbar: DC/RF Magnetron Sputtering, Pulsed DC, Filtered Cathodic Arc |
|
Tykkelse Ensartethet |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Kammermateriale |
304L/316L rustfritt stål, mekanisk slipt og elektro-polert (Ra<= 0.4 um) |
|
Integrasjon av strømforsyning |
MF-generatorer (10-100 kHz), RF-generatorer (13,56 MHz), pulserende likestrømsforspenning |
|
Kontrollsystem |
Industriell PLS + IPC med automatisert reseptutførelse, interlock-overvåking og batchdatalogging |
Sammensatt avsetningsprosess
Systemet bruker en hybrid fysisk dampavsetningsarkitektur som kombinerer magnetronsputtering og katodisk lysbueteknologi.
Multi-kildesynergi:
Samtidig eller sekvensiell drift av flere katoder muliggjør brå eller graderte komposisjonsoverganger over filmstabelen.
Ioneetsing før-rengjøring:
RF- eller DC-plasma-rengjøringsstadier fjerner native oksider og overflateforurensninger før avsetning for å maksimere belegget-til-underlagets vedheft.
Reaktiv avsetningskontroll:
Optisk emisjonsspektroskopi med lukket-sløyfe (OES) regulerer reaktiv gassinjeksjon (O2, N2, C2H2) for å opprettholde stabil sammensetningsstøkiometri og forhindre målforgiftning.
Substratbiasing:
Synkroniserte pulserende strømforsyninger bombarderer den voksende filmen med høye-energiioner, fortette mikrostrukturen og skreddersy gjenværende trykkspenning.
Filmmaterialer
Utstyret støtter et bredt spekter av målmaterialer for skreddersydde funksjonskrav:
Overgangsmetallnitrider og -karbider:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN for slitasje- og korrosjonsbestandighet.
Nanokompositt- og flerlagssystemer:
TiSiN, AlTiSiN, metall/keramiske nanolag for ekstrem hardhet og termisk stabilitet ved høy-temperatur.
Transparente ledende oksider (TCO):
ITO, AZO, IGZO for optoelektroniske og fotovoltaiske applikasjoner.
Rene metaller og legeringer:
Ti, Cr, Al, Cu, rustfritt stål, NiCr for elektrisk kontakt og diffusjonsbarrierelag.
Søknader
Presisjonsskjæreverktøy:
Avsetning av super-harde,-friksjonsbelegg (f.eks. TiAlN) på karbidskjær, bor og ende-freser for å forlenge driftslevetiden under høye termiske belastninger.
Bilkomponenter:
Friksjons-reduksjon og slitasjebestandige-filmer på stempelringer, drivstoffinnsprøytningsdeler og girenheter.
Optoelektronikk og skjermer:
Lav-resistivitet, høy-transmisjonsledende oksidlag for berøringspaneler og solcellesubstrater.
Medisinsk utstyr:
Biokompatible og slitasjebestandige-belegg på kirurgiske instrumenter og ortopediske implantater.
Tilpasning og systemkonfigurasjon
Tekniske konfigurasjoner er tilpasset spesifikke produksjonsanleggsbegrensninger og prosessoppskrifter:
Kammerstørrelse:
Sylindriske eller rektangulære kammeralternativer som spenner fra R&D batchsystemer (500 mm diameter) til stor-produksjonsbelastning-låsesystemer (1000 mm+).
01
Utvalg av pumpesuite:
Matchende rotblåsere, turbomolekylære pumper og kryogene pumper basert på nødvendige pumpe-nedetider og gassbelastningsprofiler.
02
Underlagsfeste:
Tilpassede planetrotasjonstrinn, 3-satellittrotasjon eller rull-moduler designet for komplekse 3D-geometrier eller kontinuerlige nett.
03
Automatiseringsnivå:
Halv-automatiske manuelle belastningskonfigurasjoner eller helautomatiske vakuumoverføringssystemer med robotbasert substrathåndtering.
04
Produksjon og kvalitetskontroll
Lekkasjedeteksjon:
Hvert vakuumkammer gjennomgår lekkasjetesting av heliummassespektrometer til en terskel på < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Sveisinspeksjon:
Vakuum-sidesveiser er TIG-sveiset, slipt og polert, etterfulgt av røntgen- eller penetreringsinspeksjon på forespørsel.
Overholdelse av elektrisk og sikkerhet:
Kontrollpaneler bygget i henhold til NFPA 79 eller CE/IEC-standarder, med maskinvarelåser for vannstrøm, gasstrykk og elektrisk sikkerhet.
Fabrikkgodkjenningstesting (FAT):
Testing før-forsendelse inkluderer 72-timers kontinuerlig tørrkjøring-, verifisering av vakuumytelse og testbeleggavsetning ved bruk av klientspesifiserte oppskrifter.
Retningslinjer for nettstedforberedelse:Omfattende anleggskravdokument gitt med detaljering av verktøygrensesnitt (kjølevannstrøm/trykk, elektrisk belastning, trykkluft, eksos).
På{0}}Idriftsettelse på stedet:Feltserviceingeniører utfører mekanisk justering, vakuumlekkasjekontroller, elektriske koblinger- og innledende kalibrering.
Tuning av prosessoppskrifter:Samarbeid på-stedet med kundemetallurger og prosessingeniører for å låse inn målfilmtykkelse, spenning og hardhet.
Livssyklusstøtte:Eksternt diagnosegrensesnitt, lokalisert reservedelslager og planlagte forebyggende vedlikeholdsprogrammer.
FAQ
Vi er godt-kjent som en av de ledende produsentene og leverandørene av pvd-kompositt tynnfilmutstyr i Kina. Hvis du skal kjøpe tilpasset pvd kompositt tynnfilmutstyr laget i Kina, velkommen til å få prisliste fra fabrikken vår. For priskonsultasjon, kontakt oss.
