EBE-V600-serien er en plattform for fysisk dampavsetning (PVD) i industriell-skala designet for presis tynn-filmbelegging av optiske komponenter, halvlederenheter og avanserte materialer. Ved å rette en høy-, magnetisk fokusert elektronstråle mot kildematerialer inne i vann-avkjølte digler, oppnår systemet raske fordampningshastigheter samtidig som termisk belastning holdes isolert fra kammerveggene.
Arkitekturen inkluderer multi-lommeelektronkilder og dual quartz crystal microbalance (QCM)-sensorer, som sikrer støkiometrisk filmfidelitet og konsistent tykkelseskontroll over flerlags dielektriske eller metalliske stabler.
Tekniske spesifikasjoner
|
Teknisk parameter |
Spesifikasjonsverdi |
|
Kammergeometri og materiale |
Φ600 mm x 600 mm sylindrisk kar; SS304 elektropolert interiør med utvendige kjølevannskapper |
|
Ultimate Base Pressure |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
Pumpe-ned syklustid |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
Elektronpistolkraft |
6 kW til 12 kW multi-lommekonfigurasjon med 270 graders stråleavbøyning |
|
Kapasitet for smeltedigel |
4 til 6 lommer (utskiftbare kobber/grafitt-digler, 15cc til 40cc volum per lomme) |
|
Rotasjon av substratetrinn |
0 til 30 RPM variabel hastighet planetarisk eller direkte kjøring |
|
Oppvarmingsområde for underlag |
Omgivelsestemperatur til 600 grader via PID lukket-sløyfe halogenlampe |
|
Tykkelsesovervåking |
Doble QCM-sensorer med automatisk lukkertilbakemeldingskontroll |
Nøkkelfunksjoner
270 graders magnetisk avbøyning E-pistol:Isolerer wolframfilamentet fra direkte dampbaner, forhindrer kortslutning- og forlenger levetiden mellom vedlikeholdsintervallene.
Digital sveipekontroll:Programmerbare rastermønstre fordeler elektronenergi jevnt over fordampningsoverflaten, og reduserer dannelse av hull og fortrinnsvis fordampning under legeringsavsetning.
Frakoblet vakuumarkitektur:Roughing og høyvakuumpumpelinjer er strukturelt isolert fra hovedkammerrammen for å undertrykke mekanisk vibrasjonsoverføring under filmvekst.
Maskinvarelås sikkerhetsmatrise:Sann--PLS-overvåking av kjølevannstrøm, høy-tilbakemelding, pneumatisk trykk og dørtetningsintegritet.
Vakuumsystemkonfigurasjon
Vakuumsub-kretsen er konstruert for rask syklus og lavt grunntrykk for å minimere gjenværende gassinkorporering (H2O, O2, N2) i voksende filmer:
Høy-vakuumpumpe:1200 L/s turbo-molekylær pumpe støttet av en dobbel-skovlepumpe (eller tørrscrollpumpekonfigurasjon for overensstemmelse med renrom).
Stengeventil:Pneumatisk aktivert portventil med høy-konduktans som isolerer kammeret under belastningsoperasjoner.
Vakuummåling:Kombinerte Pirani og Cold Cathode ioniseringsmålere som dekker kontinuerlig område fra atmosfære til 10^-6 Pa.
Filmmaterialer og underlag
Kompatible fordampningskilder
Oksider og dielektriske stoffer:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Rene metaller:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
Halvledere og ledere:Si, Ge, ITO (Indium Tin Oxide)
Søknader
Optiske interferensfiltre:Høy-indeks og lav-indeks fler-stabelavsetning for smale-båndpassfiltre og laserspeil.
Fremstilling av halvlederenhet:Ohmisk kontaktdannelse, gateoksidavsetning og metallfrølag.
OLED og skjermforskning:Tynn metallisk katodeavsetning og organiske/uorganiske passiveringstester i flere-lag.
Harde ildfaste belegg:Beskyttende slitasjebestandige-lag for mekaniske komponenter og romfartskomponenter.
Tilpasning
Kammerutvidelse:Utvidede fartøyshøyder eller rektangulære geometrier skreddersydd for integrering av klyngeverktøy.
Kildeintegrasjon:Samtidige termiske fordampningskilder (resistive båter) kombinert med elektronstrålekanoner.
Ione-assistert avsetning (IAD):Integrering av en slutt-Hall- eller Kaufman-ionekilde for filmfortetting og spenningsjustering.
Programvarearkitektur:PLS/HMI reseptprogrammering i samsvar med Siemens S7 eller Beckhoff automatiseringsrammeverk.
Kvalitetskontroll
Massespektrometer Helium-lekkasjetesting:Hver kammersveising testes til en avvisningsterskel på < 1 x 10^-9 Pa·m3/s før integrering.
Elektrisk samsvar:Høy-dielektrisk tåler tester og jordingskontinuitetsverifisering i henhold til CE/UL-retningslinjene.
Fabrikkgodkjenningstesting (FAT):72-timers kontinuerlig tørr-kjøringstestlogging av basistrykkkurver, repeterbarhet for e-beam sveip og interlock responstider. Testdokumentasjon levert med enheten.
Installasjon og teknisk støtte
Igangkjøring av nettstedet:Fabrikksertifiserte-ingeniører administrerer mekanisk justering, vakuumlekkasjeverifisering, overvåking av tilkoblinger og innledende kalibreringskjøringer.
Teknisk opplæring:3-dagers drifts- og vedlikeholdsprotokollopplæring på stedet som dekker filamenterstatning, gjenoppbygging av vakuumventiler og oppskriftsredigering.
Dokumentasjonsleveranser:Komplette tekniske permer inkludert P&ID-skjemaer, elektriske koblingsskjemaer, PLS-sikkerhetskopieringsfiler og reservedelerspesifikasjoner.
Ofte stilte spørsmål
Spørsmål: Hva er driftslevetiden til e-gun wolframfilamentet, og hvordan vedlikeholdes det?
A: Under standard arbeidstrykk (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
Spørsmål: Hvordan forhindrer systemet spytting under oksidavsetning?
A: Den digitale sveipegeneratoren fordeler elektronenergi over en beregnet rastermatrise på oksidpelleten. Dette eliminerer lokal overoppheting, forhindrer eksplosiv koking og undertrykker mikro-dråpeutkast.
Spørsmål: Hvilken infrastruktur er obligatorisk på installasjonsstedet?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/min, temperatur 18 grader til 25 grader .
Elektrisk nett: 3-fase, 380V ± 10 %, 50/60 Hz (eller fabrikkkonfigurert til regionale standarder).
Trykkluft: 0,5 MPa til 0,7 MPa tørrluft for pneumatiske ventilaktuatorer.
Spørsmål: Er fjerndiagnosetilgang integrert i kontrollsystemet?
A: Ja. En isolert Ethernet-port støtter sikker VPN-tilkobling for ekstern PLC-logghenting og programvarefeilsøking av ingeniørteamet vårt.
Populære tags: elektronstrålefordampning tynnfilmutstyr, Kina elektronstrålefordampning tynnfilmutstyr produsenter, leverandører, fabrikk
